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上海某半导体公司

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客户名称:上海某半导体公司

行业性质:半导体生产行业,芯片生产行业;

设备名称:真空负压系统;

设备型号:FKMVP-302*3  (数量两套);

设备内容:本套真空负压系统主要采用67.5KW的单极旋片真空泵搭载着21.5m3的真空缓冲罐,外加PLC智能控制系统,客户行业主要是半导体生产封装行业,在半导体以及芯片的自动化生产;本系统的完成工艺是半导体自动化的吸取运行以及封装 。

设备明细清单:

序号

产品名称

单位

数量

   

1

KMVP-302真空泵

6

抽气速率302m3/H;

电机功率:7.5KW;

极限压力:-101kpa;

品牌:铠盟(自主);

2

电控系统

2

真空压力手自动一体;电机过载缺相保护装置;合理控制真空泵的启动控制,避免出现压力失效问题,以及泵体损坏控制;实现自动切换根据现场压力自动调整泵运行;

品牌:正泰,铠盟(自主);

3

真空过滤器总成

6

用于真空泵吸气口过滤装置,避免真空泵吸入大颗粒杂质;

品牌:铠盟(自主);

4

真空泵专用油

48

真空系统真空泵专用油耐高温;

品牌:铠盟(自主);

5

一体触摸控制器

2

Plc控制,人机界面用于实现真空泵控制含程序含模拟量采集模块;

品牌:步科,三菱,铠盟(自主);

6

真空负压传感器

2

高精度,供电24V,模拟量信号输出4-20ma;

品牌:轩胜;

7

1500L真空稳压罐

2

碳钢材质,含标准配件,表面哑光;

品牌:铠盟(自主);

8

真空连接管路

2

整体管路的连接,含相对应的阀门已经接管球阀等配件;部分采用金属软管管路;

品牌:铠盟(自主);

9

真空泵安装台架

2

碳钢安装台架,电控箱安装支架;


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