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1 产品概况

工业真空泵是属于高速直联 (电机直接驱动) 双级片油封(油密封) 式变容真空泵。其泵体采用整体式结构设计,内置齿轮油泵设计,压力油控制的防返流阀设计,油泵压力控制系统,油液循环过滤系统,低噪音NSK轴承及完善的润滑密封结构设计,不同掺气量的气镇阀设计,流畅的外观设计。

该泵结构设计合理,安全可靠,抽速大,极限真空度高,低噪声,不喷油,不漏油,维修方便,造型美观大方,是经全球客户验证的高可靠性真空泵。

1.1 用途及使用范围

工业真空泵是真空应用领域中最基本的真空获得设备,特别适用于需要获得高极限真空低噪音环境的科研、教学、实验室、分析仪器、医疗器械、真空镀膜等不同直空应用领域。工业真空泵可作为中、低真空系统的主抽泵,也可以作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等中高真空、超高真空系统的前级泵。

1.2 结构原理

工业真空泵为双级直联旋片式真空泵,产品以高可靠性、低噪音和高极限真空度为设计定位通过采用世界最先进的整体式泵体结构设计,强制油泵润滑油压控制系统,同时具有不同渗气的气镇阀设计使得产品在不同使用环境中保持高可靠性。5376207b17dbeb97a8a90875f6817c2.png

原理图如图2所示:

泵转子偏心地安装在泵缸体内,通过两个始终紧贴缸壁的旋片把泵腔分成两个大小变化的腔体。当电机带动泵转子顺时针旋转,腔体1由小变大完成吸气,腔体2完成气体的传输,腔体3由大变小压缩排气,完成一吸气--压缩--排气工作周期。当电机连续转动,泵体则实现不断吸气--压缩--排气,从而达到对容器抽气的目的。当排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。0e025b16a75d4085134a7d66e4d7dce.png

 



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